产品中心
性状:
分子式HF 分子量:20.01。
无色透明溶液,有强烈刺激性气味,有毒,并有强烈的腐蚀性。
用途:
电子化学品用于超大规模集成电路芯片,太阳能电池,LED和TFT-LCD面板制造过程的蚀刻和清洗,原子能工业化学试剂。
产品标准:
项目 |
指 标 |
|||
EL级 |
UP级 |
UP-S级 |
||
氢氟酸(HF), w/% |
49.0-49.5 |
49.0-49.5 |
49.0-49.5 |
|
颗粒(≥ 0.5 μm ) 个/ml ≤ |
25 |
25 |
25 |
|
颗粒(≥ 0.3 μm ) 个/ml ≤ |
- |
150 |
150 |
|
颗粒(≥ 0.2 μm) 个/ml ≤ |
- |
300 |
300 |
|
色度Color, 黑曾≤ |
10 |
10 |
10 |
|
硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤ |
100 |
20 |
20 |
|
氯化物, Cl ppm ≤ |
5 |
5 |
0.5 |
|
硝酸盐, NO3 ppm ≤ |
3 |
3 |
0.3 |
|
磷酸盐, PO4 ppm ≤ |
1 |
1 |
0.1 |
|
亚硫酸盐, SO3 ppm ≤ |
5 |
2 |
0.2 |
|
硫酸盐, SO4 ppm≤ |
0.5 |
0.2 |
||
金
属
离
子
ppb ≤ |
锌( Zn ) |
50 |
10 |
10 |
钠( Na ) |
200 |
10 |
1 |
|
镁( Mg ) |
200 |
10 |
1 |
|
铂( Pt ) 、钾( K )、钛( Ti)、 铝( Al ) 、钼( Mo ) 、钡( Ba ) 钙( Ca )、铁( Fe ) |
100 |
10 |
1 |
|
铅( Pb ) 、砷( As ) 、镉( Cd ) 镍( Ni ) |
50 |
10 |
1 |
|
锡( Sn ) 、锰( Mn ) 、铬( Cr ) 钴( Co )、铜( Cu ) 、镓( Ga ) 锗( Ge ) |
20 |
10 |
1 |
|
金( Au ) 、铍( Be ) 、铋( Bi ) 锂( Li ) 、银( Ag ) |
20 |
5 |
1 |
|
锶( Sr ) 、铊( Tl ) 锑( Sb ) 、矾( V ) |
- |
10 |
1 |