邵武华新化工有限公司

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电子级氢氟酸

 

状:

分子式HF 分子量:20.01。

无色透明溶液,有强烈刺激性气味,有毒,并有强烈的腐蚀性。

途:

电子化学品用于超大规模集成电路芯片,太阳能电池,LED和TFT-LCD面板制造过程的蚀刻和清洗,原子能工业化学试剂。

    产品标准:

项目

指    标

EL级

UP级

UP-S级

氢氟酸(HF), w/%

49.0-49.5

49.0-49.5

49.0-49.5

颗粒(≥ 0.5 μm ) 个/ml ≤

25

25

25

颗粒(≥ 0.3 μm ) 个/ml ≤

-

150

150

颗粒(≥ 0.2 μm) 个/ml ≤

-

300

300

    色度Color, 黑曾≤

10

10

10

    硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤

100

20

20

    氯化物, Cl ppm ≤

5

5

0.5

    硝酸盐, NO3 ppm ≤

3

3

0.3

    磷酸盐, PO4 ppm ≤

1

1

0.1

    亚硫酸盐, SO3 ppm ≤

5

2

0.2

    硫酸盐, SO4 ppm≤

0.5

0.2

 

 

 

 

ppb

    锌( Zn )

50

10

10

    钠( Na )

200

10

1

    镁( Mg )  

200

10

1

铂( Pt ) 、钾( K )、钛( Ti)、

铝( Al ) 、钼( Mo ) 、钡( Ba )

    钙( Ca )、铁( Fe )    

100

10

1

铅( Pb ) 、砷( As ) 、镉( Cd )

镍( Ni )  

50

10

1

锡( Sn ) 、锰( Mn ) 、铬( Cr )

钴( Co )、铜( Cu ) 、镓( Ga )

    锗( Ge )           

20

10

1

    金( Au ) 、铍( Be ) 、铋( Bi )

    锂( Li ) 、银( Ag )             

20

5

1

    锶( Sr ) 、铊( Tl )

    锑( Sb ) 、矾( V )    

-

10

1